• <xmp id="ioqie">
  • <blockquote id="ioqie"></blockquote>
  • 全國服務咨詢熱線:

    18396591470

    當前位置:首頁  >  技術文章  >  等離子體原子層沉積在納米器件和能源領域展現出潛力

    等離子體原子層沉積在納米器件和能源領域展現出潛力

    發表時間:2023-08-11      點擊次數:40
      等離子體原子層沉積是一種氣相沉積技術,利用了等離子體的化學反應和表面反應來沉積薄膜。它通常由兩個步驟組成:前驅體吸附和后處理。
      前驅體分子被引入反應室,并通過化學吸附與襯底表面發生反應,形成一個單層分子。
      一個等離子體源引入反應室,產生高能粒子,與已吸附的前驅體發生反應,釋放出非揮發性產物并修飾表面。重復這兩個步驟多次,可以逐漸增加薄膜的厚度和質量。
     
      等離子體原子層沉積具有許多優勢。
      可以在低溫下進行,適用于對溫度敏感的襯底和器件。
     
      提供了較高的控制能力。由于每個沉積周期中只有單層分子被添加,可以實現準確的薄膜厚度和組成控制,從而獲得優異的均勻性和界面質量。
     
      還具有較高的反應速率和良好的可擴展性,使其成為大規模生產中的理想選擇。
     
      在微電子領域,廣泛應用于金屬、氧化物和氮化物薄膜的制備。這些薄膜在晶體管、存儲器和傳感器等器件中發揮關鍵作用。通過精確控制沉積參數,可以實現高質量的界面、低損耗和低漏電流,提高器件性能和穩定性。
     
      在光學領域,用于制備光學涂層、反射鏡和濾波器等。利用其高控制能力和優異的均勻性,可以實現高透過率、低反射率和精確的光學特性,滿足不同光學器件的需求。
     
      等離子體原子層沉積還在納米器件和能源領域展現出巨大潛力。在納米電子學中,可以利用其高分辨率和界面控制能力來制備納米線、納米點陣列和量子點結構。在能源存儲和轉換中,可以利用其優異的薄膜質量和界面特性來改善電池、太陽能電池和燃料電池等器件的性能。

    電子郵箱:su.zhipeng@ym-qbt.com

    公司地址:廈門市集美區兌英南路255號

    業務咨詢微信

    邻居少妇张开腿让我爽了在线观看,寡妇下边太紧了夹死我了,亚洲日韩国产一区二区蜜桃,国产性色亚洲69国产成人无码电影
  • <xmp id="ioqie">
  • <blockquote id="ioqie"></blockquote>